溫度對(duì)多晶硅還原電極的影響
溫度對(duì)多晶硅還原電極的影響
隨著我們身邊使用到的產(chǎn)品越來(lái)越多，對(duì)這些產(chǎn)品的使用要求也變高了，多晶硅還原電極作為我們身邊使用的比較多的產(chǎn)品，它的應(yīng)用領(lǐng)域還是非常廣泛的，在我們進(jìn)行多晶硅還原電極生產(chǎn)加工的時(shí)候，會(huì)有哪些因素影響我們多晶硅還原電極的生產(chǎn)效率呢?今天我們就來(lái)分析下溫度對(duì)我們多晶硅還原電極生產(chǎn)加工的影響，希望大家能夠了解了解。
溫度升高會(huì)導(dǎo)致解析速率增加，吸附速率降低。所以在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，溫度并非越高越好。實(shí)際沉積過(guò)程中，半導(dǎo)體材料自氣相向固態(tài)載體上沉積時(shí)都有最高溫度，當(dāng)反應(yīng)溫度超過(guò)這個(gè)溫度時(shí)，隨著溫度的升高沉積速率反而下降，各種不同的硅鹵化物有不同的。溫度升高，無(wú)論從化學(xué)反應(yīng)平衡還是從反應(yīng)動(dòng)力學(xué)方面，都能夠使反應(yīng)向有利的方向進(jìn)行，加快反應(yīng)速度。高溫導(dǎo)致反應(yīng)氣體不能到達(dá)多晶硅還原爐電極表面，即化學(xué)氣相沉積未在硅棒表面發(fā)生，而是在高溫區(qū)的氣相中就已經(jīng)反應(yīng)了，使得硅粉微粒被氣相帶出反應(yīng)器，所以硅棒表面的溫度不能過(guò)高。增加反應(yīng)溫度還對(duì)結(jié)晶性能也有益。溫度高，結(jié)晶粗大，而且表面具有很亮的金屬光澤，但是溫度過(guò)高，則會(huì)發(fā)生逆腐蝕反應(yīng)，使硅容易熔化。反之，溫度底，結(jié)晶細(xì)小，表面呈暗灰色。
通過(guò)上面的介紹，大家了解了溫度對(duì)我們多晶硅還原電極的影響，希望我們大家在使用這些多晶硅還原電極的時(shí)候，能夠注意它的使用事項(xiàng)及應(yīng)用領(lǐng)域，更好的發(fā)揮這些多晶硅還原電極的作用，我公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)銷(xiāo)售各種多晶硅還原電極及合金產(chǎn)品，希望有需要這些合金產(chǎn)品的朋友可以來(lái)我們公司選購(gòu)，價(jià)格優(yōu)惠，質(zhì)量保障。
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